本月21日零時(shí)17分,臺(tái)灣嘉義縣發(fā)生里氏6.4級地震,臺(tái)積電位于臺(tái)南的先進(jìn)制程產(chǎn)線一度停機(jī),全廠人員疏散。
臺(tái)積電指出,南科晶圓廠區(qū)測得最大震度為5級、中科廠區(qū)最大測得震度為4級、竹科廠區(qū)最大測得震度為3級。為確保人員安全,各廠區(qū)依照內(nèi)部程序啟動(dòng)相關(guān)安全預(yù)防措施,部分中部及南部廠區(qū)在第一時(shí)間進(jìn)行人員疏散,21日凌晨1時(shí)許全數(shù)完成清點(diǎn),確定人員安全無憂。各廠區(qū)也完成建筑震后損害檢查,確認(rèn)結(jié)構(gòu)安全無憂,逐步回線。
業(yè)內(nèi)人士透露,臺(tái)積電約需要耗費(fèi)一天或者以上才能將機(jī)臺(tái)重新調(diào)教歸位并且恢復(fù)生產(chǎn)功能,災(zāi)損情況同樣需要時(shí)間。生產(chǎn)線上晶圓毀損情況方面,估計(jì)將出現(xiàn)1至2萬片晶圓破損,是否影響客戶出貨進(jìn)度,將視后續(xù)恢復(fù)情形。
據(jù)悉,中國臺(tái)灣南科園區(qū)半導(dǎo)體工廠普遍有7級以上的防震設(shè)計(jì),然而這次地震搖晃時(shí)間長,機(jī)臺(tái)仍有位移風(fēng)險(xiǎn),支援設(shè)備業(yè)者即透露,龍頭大廠某產(chǎn)線機(jī)臺(tái)幾乎停擺。
臺(tái)積電南科廠區(qū)目前為3、5nm制程晶圓生產(chǎn)的重點(diǎn)廠區(qū),客戶涵蓋輝達(dá)、AMD、英特爾等大廠。
法人估計(jì)將出現(xiàn)1至2萬片晶圓破損,是否影響客戶出貨進(jìn)度,將視后續(xù)恢復(fù)情形。